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Ion implantation / edited by J. K. Hirvonen
(Treatise on materials science and technology ; v. 18)

データ種別	図書
出版者	New York ; Tokyo ; Boston : Academic Press
出版年	1980
本文言語	英語
大きさ	xiv, 502 p. : 24 cm
著者標目	Hirvonen, J. K. (James Karsten)
件　名	LCSH : Ion implantation//LCSH : Materials -- Effect of radiation on  全ての件名で検索
分　類	UDC:66
書誌ID	1000123433
ISBN	0123418186
NCID	BA04352160

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