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ENHANCED DIFFUSION FROM INTERSTITIAL TRAPPING DURING SOLID-PHASE-EPITAXIAL GROWTH OF SILICON ALLOYS. / PENNYCOOK, S.J.(et al.)
(CONF ; CONF-8407102-1-DRAFT)

データ種別 レポート
出版年 1984
本文言語 英語
大きさ 15
レポート番号 CONF-8407102-1-DRAFT

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(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)

R0766482


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著者標目 PENNYCOOK, S.J.
書誌ID 1000692687