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GROWTH OF EPITAXICAL SIC LAYERS ONTO ON- AND OFF-AXIS 6H-SIC SUBSTRATES BY ION BEAM DEPOSITION / MORE, K.L.//WITHROW, S.P.// HAYNES, T.E.//ZUHR, R.A
(CONF ; CONF-891119-39)

データ種別 レポート
出版年 1989
本文言語 英語
レポート番号 CONF-891119-39

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(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)

R0691192


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