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STRESS RELAXATION OF SILICON NITRIDE AT ELEVATED TEMPERATURES / WERESZCZAK, A.A.// FERBER, M.K.// KIRKLAND, T.P.// LARA-CURZIO, E.// PARTHASARATHY, V.// GRIBB, T.T. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
(CONF ; CONF-950129-4)

データ種別	レポート
出版年	1995
本文言語	英語
大きさ	10
レポート番号	CONF-950129-4