---

AMORPHOUS DIAMOND-LIKE CARBON FILM GROWTH BY KRF- AND ARF- EXCIMER LASER PLD: CORRELATION WITH PLUME PROPERTIES / PURETZKY, A.A.// GEOHEGAN, D.B.// JELLISON, G.E. JR. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
(CONF ; CONF-950412-21)

データ種別	レポート
出版年	1995
本文言語	英語
大きさ	8
レポート番号	CONF-950412-21