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COMPARATIVE DIAGNOSTICS OF ARF- AND KRF-LASER GENERATED CARBON PLUMES USED FOR AMORPHOUS DIAMOND-LIKE CARBON FILM DEPOSITION / PURETZKY, A.A.// GEOHEGAN, D.B.// JELLISON, G.E. JR.// MCGIBBON, M.M. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
(CONF ; CONF-9505219-3)

データ種別	レポート
出版年	1995
本文言語	英語
大きさ	15
レポート番号	CONF-9505219-3