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CHARACTERIZATION OF LITHIUM PHOSPHOROUS OXYNITRIDE THIN FILMS / YU, XIAOHUA// BATES, J.B.// JELLISON, G.E. JR. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
(CONF ; CONF-951007-23)

データ種別	レポート
出版年	1996
本文言語	英語
大きさ	9
レポート番号	CONF-951007-23