Mendeley出力
JMTRを用いたシリコン半導体製造装置の概念検討 / 細川 甚作, 菅野 勝, 坂本 太一
(JAEA-Technology ; 2008-038)
| データ種別 | レポート |
|---|---|
| 出版者 | : 日本原子力研究開発機構 |
| 出版年 | 2008 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 24 |
| レポート番号 | JAEA-TECHNOLOGY-2008-038 |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 利用注記 | 予約 | 複写取寄 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (東海)旧館2F閲覧室(レポート) |
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3300611476 |
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| 別書名 | Conceptual study of silicon semiconductor production facility in JMTR |
|---|---|
| 著者標目 | 細川, 甚作 <ホソカワ, ジンサク> 菅野, 勝 <カンノ, マサル> 坂本, 太一 <サカモト, タイチ> |
| 書誌ID | 1000986131 |
| URL1 | https://doi.org/10.11484/jaea-technology-2008-038 |
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