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化学蒸着SiCの熱力学計算 / 湊 和生, 福田 幸朔, 井川 勝市
(JAERI-M ; 85-043)

データ種別 レポート
出版者 : 日本原子力研究所
出版年 1985
本文言語 日本語
大きさ 33 p.
レポート番号 JAERI-M-85-043

所蔵情報を非表示

(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)

R0898777


禁帯出

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別書名 Themodynamic Calculations for Chamical Vapor Deposition of Silicon Cable
著者標目 湊, 和生 <ミナト, カズオ>
福田, 幸朔 <フクダ, コウサク>
井川, 勝市 <イカワ, カツイチ>
書誌ID 1000992823
URL1 https://doi.org/10.11484/jaeri-m-85-043

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