Mendeley出力
エチルトリクロロシランを用いたCVD-SiCの熱力学計算 / 中野 純一//山田 禮司
(JAERI-Research ; 95-045)
| データ種別 | レポート |
|---|---|
| 出版者 | : 日本原子力研究所 |
| 出版年 | 1995 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 26 |
| レポート番号 | JAERI-RESEARCH-95-045 |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 利用注記 | 予約 | 複写取寄 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (東海)旧館2F閲覧室(レポート) |
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3300212218 |
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| 別書名 | Thermodynamic calculations for chemical vapor deposition of silicon carbide using ehyltrichlorosilane |
|---|---|
| 著者標目 | 中野, 純一 <ナカノ, ジュンイチ> 山田, 禮司 <ヤマダ, レイジ> |
| 書誌ID | 1000998873 |
| URL1 | https://doi.org/10.11484/jaeri-research-95-045 |
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