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INITIAL DESIGN OF A 1 MEGAWATT AVERAGE, 150 KILOVOLT PULSE MODULATOR FOR AN INDUSTRIAL PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION PROCESSOR. / REASS, W.A.(et al.)
(LA ; LA-UR-94-2126)

データ種別 レポート
出版年 1994
本文言語 英語
大きさ 5
レポート番号 LA-UR-94-2126

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(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)

R0609210


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著者標目 REASS, W.A.
書誌ID 1001074764