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PLASMA SURFACE CLEANING USING MICROWAVE PLASMAS / TSAI, C.C.// HASELTON, H.H.// NELSON, W.D.// SCHECHTER, D.E.// THOMPSON, L.M.// CAMPBELL, V.B.// GLOVER, A.L.// GOOGIN, J.M. (OAK RIDGE Y-12 PLANT, TN (UNITED STATES))
(Y ; Y/DV-1298)

データ種別	レポート
出版年	1993
大きさ	15
レポート番号	Y/DV-1298