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Selective hydrogen passivation of oxygen-related thermal-donor clusters in silicon / Johnson, N.M., Hahn, S.K., Stein, H.J.
(Sandia report ; SAND-86-0850C; CONF-860895-2; DE86014718)

データ種別	レポート
出版者	CA (USA), Mountain View, CA (USA), Albuquerque, NM (USA) : Xerox Palo Alto Research Center, Siltec Corp., Sandia National Labs.
出版年	1986.01
本文言語	英語
大きさ	6p
レポート番号	SAND-86-0850C; CONF-860895-2; DE86014718