この文献を取り寄せる

このページのリンク

Observations on selectivity loss during tungsten CVD / Creighton, J.R.
(Sandia report ; SAND-86-2867C; CONF-8611130-1; DE87003514)

データ種別 レポート
出版者 Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs.
出版年 1986.01
本文言語 英語
大きさ 9p
レポート番号 SAND-86-2867C; CONF-8611130-1; DE87003514

所蔵情報を非表示

(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)

R2131001159


禁帯出

書誌詳細を非表示

著者標目 Creighton, J.R.
書誌ID 1001399767