OPAC

More observations on selectivity loss during tungsten CVD / Creighton, J.R., Rogers, J.W. Jr.
(Sandia report ; SAND-87-0093C; CONF-8710225-1; DE88002639)

データ種別	レポート
出版者	Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs.
出版年	1987.01
本文言語	英語
大きさ	8P
レポート番号	SAND-87-0093C; CONF-8710225-1; DE88002639

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	刷　年	利用注記	予約	複写取寄	指定図書
(東海)新館2Fマイクロ室(マイクロフィッシュ)			R2131001377					禁帯出

著者標目	Creighton, J.R. Rogers, J.W. Jr.
書誌ID	1001400036