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プラズマ/プロセスノゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Lieberman, M.A./Lichtenberg, A.J./佐藤 久明(訳)

データ種別 図書
第2版
出版者 東京 : 丸善
出版年 2010
本文言語 日本語
大きさ 612 : 26cm

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(東海)旧館2F閲覧室(図書)
533.9/L10 21100009048
9784621082232


書誌詳細を非表示

著者標目 Lieberman, M.A.
Lichtenberg, A.J.
佐藤 久明 <サトウ ヒサアキ>
件 名 BSH : プラズマ物理学//NDLSH : 薄膜
分 類 UDC:533
書誌ID 1000141202
ISBN 9784621082232
NCID BB00985264

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