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AMORPHIZATION THRESHOLD IN SI-IMPLANTED STRAINED SIGE ALLOY LAYERS / SIMPSON, T.W.// LOVE, D.// ENDISCH, E.// GOLDBERG, R.D.// MITCHELL, I.V.// HAYNES, T.E.// BARIBEAU, J.M. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
(CONF ; CONF-941144-105)

データ種別	レポート
出版年	1994
本文言語	英語
大きさ	7
レポート番号	CONF-941144-105