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Silicon processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, National Bureau of Standards, and Stanford University, San Jose, Calif., 19-22 Jan. 1982 / D.C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 804)

データ種別	図書
出版者	Philadelphia, Pa. (1916 Race St., Philadelphia 19103) : ASTM
出版年	c1983
本文言語	英語
大きさ	559 p. : ill. ; 24 cm

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	刷　年	利用注記	予約	複写取寄	指定図書
(東海)旧館2F閲覧室(図書)		546.28/S82	3958216008					禁帯出
大洗		621.382	019906008						予約			予約

一般注記	Papers presented at the Symposium on Silicon Processing, held in San Jose, Calif., Jan 19-22, 1982 "ASTM publication code number (PCN) 04-804000-46." Includes bibliographical references and index
著者標目	Gupta, D. C. (Dinesh C.) ASTM Committee F-1 on Electronics United States. National Bureau of Standards Stanford University Symposium on Silicon Processing (1982 : San Jose, Calif.)
件　名	LCSH:Silicon -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductors -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.15.S55 DC19:621.3815/2 UDC:546
書誌ID	1000123689
NCID	BA04320787