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Semiconductor processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 850)

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大洗		621.38	022661005						予約			予約

一般注記	"ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46." Includes bibliographies and index
著者標目	Gupta, D. C. (Dinesh C.) ASTM Committee F-1 on Electronics Symposium on Semiconductor Processing (3rd : 1984 : San Jose, Calif.)
件　名	LCSH:Semiconductor industry -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 UDC:621
書誌ID	1000124773
ISBN	0803104030
NCID	BA04324278