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ハクマク サクセイ ノ キソ
薄膜作成の基礎 / 麻蒔 立男

データ種別 図書
第4版
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2005.7
本文言語 日本語
大きさ xiii, 352p : 挿図 ; 21cm

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(東海)旧館2F閲覧室(図書)
539.23/A05 3100243561
4526055034


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一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ>
件 名 BSH:薄膜
BSH:真空技術
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
UDC:539
書誌ID 1000093131
ISBN 4526055034
NCID BA72997104

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