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Physical sputtering of single-element solids / edited by R. Behrisch, with contributions by H.H. Andersen ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 47 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 1)

データ種別	図書
出版者	Berlin ; New York : Springer-Verlag
出版年	1981
本文言語	英語
大きさ	x, 281 p. : ill. ; 24 cm

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	刷　年	利用注記	予約	複写取寄	指定図書
(東海)旧館2F閲覧室(図書)		53(08)/T73	3956214203			0387105212			予約			予約

一般注記	Includes bibliographical references and indexes
著者標目	Behrisch, Rainer Andersen, Hans Henrik
件　名	LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索
分　類	LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1 UDC:53
書誌ID	1000121621
ISBN	3540105212
NCID	BA00899234