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Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography / edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2)

データ種別	図書
出版者	Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag
出版年	1983
本文言語	英語
大きさ	xii, 391 p. : ill. ; 24 cm

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	刷　年	利用注記	予約	複写取寄	指定図書
(東海)旧館2F閲覧室(図書)		53(08)/T73	3957172707			0387125930			予約			予約

一般注記	Includes bibliographical references and indexes
著者標目	Behrisch, Rainer
件　名	LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索
分　類	LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1 UDC:53
書誌ID	1000122529
ISBN	3540125930
NCID	BA00899846