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HIGH-RESOLUTION HEAVY-ION-INDUCED X-RAY SATELLITE EMISSION STUDY OF IMPLANTED SULFUR AS A PROBE OF CO-IMPLANTED OXYGEN IN AN OXIDE SUBSTRATE / ROSSEEL,T.M.//YOUNG,J.P.//VANE,C.R.//ZUHR,R.A.//PETERSON,R.S. (OAK RIDGE NATIONAL LAB.,TN(USA))
(CONF ; CONF-901116-8)

データ種別	レポート
出版年	1990
本文言語	英語
大きさ	12
レポート番号	CONF-901116-8