FUNDAMENTAL STUDIES OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DIAMOND GROWTH PROCESSES / SHAW,R.W.//WHITTEN,W.B.//RAMSEY,J.M.//HEATHERLY,L.(OAK RIDGE NATIONAL LAB.,TN(UNITED STATES))
(CONF ; CONF-9107115-10)
データ種別 | レポート |
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出版年 | 1991 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | 5 |
レポート番号 | CONF-9107115-10 |
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