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CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF TERNARY REFRACTORY NITRIDES FOR DIFFUSION BARRIER APPLICATIONS / SMITH, P.M.// CUSTER, J.S.// FLEMING, J.G.// ROHERTY-OSMUN, E.// COHN, M.// JONES, R.V. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
(SAND ; SAND-96-0701C)

データ種別	レポート
出版者	: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年	1996
本文言語	英語
大きさ	6
レポート番号	SAND-96-0701C