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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2ND SERIES B, MICROELECTRONICS PROCESSING AND PHENOMENA : AN OFFICIAL JOURNAL OF THE AMERICAN VACUUM SOCIETY
| データ種別 | 雑誌 |
|---|---|
| 出版者 | New York : American Institute of Physics |
| 出版年 | 1983-1990 |
| 本文言語 | 英語 |
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| 配架場所 | 所蔵巻号 | 年次 | 請求記号 | コメント | 複写取寄 |
|---|---|---|---|---|---|
| (東海)新館B1書庫(雑誌) | 1-8 | 1983-1990 | 622-3322 |
|
所蔵巻号一覧
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| 別書名 | 略タイトル:J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom キータイトル:Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena |
|---|---|
| 変遷注記 | 継続前誌:Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena |
| 書誌ID | 2000134614 |
| ISSN | 0734211X |
| NCID | AA10635106 |
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