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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 スパタリング現象;基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原 粲 A1 金原 粲 YR 1984 FD 1984 SP 231 K1 NDLSH : 薄膜 PB 東京大学出版会 SN 4130610473 LA Japanese (日本語) CL UDC:539 NO 書誌ID=1000124892; NCID=BN00164488; LK [OPAC]https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_link/bibid/1000124892 OL 58