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検索キーワード:(件名: #NDLSH : 薄膜)
該当件数:5件
薄膜作製応用ハンドブック / 多賀 康訓(編)/塚田 俊久(編)
Reading, Mass. : エヌ・ティー・エス , 1997
図書
CVDハンドブック / 化学工学会(編)
東京 : 朝倉書店 , 1997
スパタリング現象;基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原 粲
: 東京大学出版会 , 1984
薄膜化技術 / 早川 茂
東京 : 共立出版 , 1982
薄膜の評価技術ハンドブック / 吉田 貞史(編)/金原 粲(監)
東京 : テクノシステム , 2013